Slajdy czyszczące z osoczem
[ben krasnow] złączył metodę czyszczenia boków za pomocą plazmy. Jego konfiguracja wykorzystuje mechaniczną pompę próżniową do ewakuacji jaru dzwonkowego. Ten dzwonkowy słoik jest owinięty cewką miedzianą, która jest podłączona do nadajnika RF. Przesyłając RF do cewki, plazma jest tworzona wewnątrz jaru dzwonkowego. Czyszczenie plazmowe jest szeroko stosowane w branży półprzewodnikowej. …